微波合成片状β-SiC的工艺研究

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片状β-SiC可通过使用石墨纸(C)作为碳源、正硅酸乙酯水解制得的SiO2溶胶.凝胶作为硅源、经微波加热合成。本文根据加热过程中微波炉加热温度、输入功率和反射功率的变化曲线,探讨了微波合成片状β-SiC过程中微波加热热效应。分别选择1100°C、1200°C、1300°C、1400°C和1500°C五个微波烧结温度,研究了相同保温时间下不同加热温度对微波合成片状β-SiC的影响。在烧结温度1300°C下,选取保温时间分别为0min、10min、3
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