【摘 要】
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用磁控溅射的方法制备了类金刚石薄膜(DLC),对薄膜在600℃以下的温度进行真空退火,保温3小时,用椭偏仪和红外分光光度计对退火前后薄膜的结构和光学性能进行表征,结果表明,薄
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用磁控溅射的方法制备了类金刚石薄膜(DLC),对薄膜在600℃以下的温度进行真空退火,保温3小时,用椭偏仪和红外分光光度计对退火前后薄膜的结构和光学性能进行表征,结果表明,薄膜在400℃以下没有变化,400℃以上开始失氢,SP~2杂化结构开始增加,500℃以上薄膜的折射率上升,600℃时石墨化,红外吸收大幅度增加。
Diamond-like carbon (DLC) films were prepared by magnetron sputtering. The films were annealed at 600 ℃ for 3 hours. The structures and optical properties of the films before and after annealing were analyzed by ellipsometry and infrared spectrophotometer The results show that the film does not change below 400 ℃, hydrogen begins to deplete above 400 ℃, the SP ~ 2 hybrid structure begins to increase, the refractive index of the film above 500 ℃ increases, the graphitization at 600 ℃ increases greatly .
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