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对H和SiHF3的反应进行了详细的理论研究. 用从头算(UMP2)方法研究了其机理, 结果表明抽提氢是惟一可行的反应通道, 抽提氟的通道由于具有较高的势垒而难以进行. 用变分过渡态理论加小曲率隧道效应对该反应进行了动力学研究, 得到200-3000 K温度范围内的速-温关系式为: k(T) = (9.74×10-22)T 3.22exp(-856/T).