片状氮化硼在数字集成电路扩散工艺中的应用

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我们厂是一个生产数字集成电路的器件厂,1976年年底开始使用北京国家建筑材料研究院的片状氮化硼,半年多来,由于建材院同志的大力支持和协助,使我厂数字电路生产车间中的基区硼扩散工艺逐步地由片状氮化硼取代了液态的硼酸三甲酯,例如五车间全部采用了片状的氮化硼。 Our factory is a production of digital integrated circuit device factory, by the end of 1976 the Beijing Institute of Building Materials used flaky boron nitride, more than six months, due to the strong support and assistance of Building Materials Institute comrades, I plant digital circuit production The basement boron diffusion process in the workshop gradually replaced the liquid trimethyl borate by flake boron nitride, for example, all the five workshops used flake boron nitride.
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