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用正电子湮没方法鉴别InP半导体中的缺陷
用正电子湮没方法鉴别InP半导体中的缺陷
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asd010asd
【摘 要】
:
本文测量了各种InP样品中的正电子寿命谱,用正电子凤率连发布测量分析正电子寿命谱,肯定了在n型和半绝缘型InP中有In空位VIn和P空平Vp,而在p型InP中只观察到In空位VIn。
【作 者】
:
陈志权
【机 构】
:
武汉大学物理系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
磷化铟
正电子湮没
缺陷
Crystal defects
Semiconducting indium compounds
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文测量了各种InP样品中的正电子寿命谱,用正电子凤率连发布测量分析正电子寿命谱,肯定了在n型和半绝缘型InP中有In空位VIn和P空平Vp,而在p型InP中只观察到In空位VIn。
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