【摘 要】
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本文介绍了金属化系统的失效模式和选择金属化系统的基本原则。给出了铝金属化和金多层金属化的实验结果,并进行了比较,最后。在抗辐照功率晶体管中选用了PtSi—Mo—Au多层金
【机 构】
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河北半导体研究所,河北半导体研究所,河北半导体研究所 石家庄,石家庄,石家庄
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本文介绍了金属化系统的失效模式和选择金属化系统的基本原则。给出了铝金属化和金多层金属化的实验结果,并进行了比较,最后。在抗辐照功率晶体管中选用了PtSi—Mo—Au多层金属化系统。
This article describes the failure modes of metallization systems and the basic principles for selecting metallization systems. The experimental results of aluminum metallization and gold multi-layer metallization are given and compared, and finally. In the anti-radiation power transistor selected PtSi-Mo-Au multilayer metallization system.
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