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通过对蓝宝石衬底片的化学机械抛光工艺的研究，系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数，并经过大量试验，总结出影响因素，提出优化方案。得到的结果是：采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配以适当参数进行抛光，能够有效地提高加工效率和被加工的蓝宝石表面性能。
蓝宝石衬底纳米级超光滑表面加工工艺研究
【摘 要】
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通过对蓝宝石衬底片的化学机械抛光工艺的研究，系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数，并经过大量试验，总结出影响因素，提出优化方案。得到的结果是：采用粒径为40nm、低分散度
【机 构】
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福建工程学院电子信息与电气工程系
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2008年2期
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