论文部分内容阅读
通用测试rn电容-电压(C-V)测试广泛用于测量半导体参数,尤其是MOSCAP和MOSFET结构.此外,利用C—V测量还可以对其他类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管(BJT)、JFET、Ill—V族化合物器件、光伏电池、MEMS器件,有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管(CNT)和多种其他半导体器件.