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本文介绍了用磨角、择优腐蚀的方法显示和测试硅片表面的机械损伤层厚度的测试方法、原理和实验结果。
硅片表面机械损伤层厚度的测试方法研究
【摘 要】
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本文介绍了用磨角、择优腐蚀的方法显示和测试硅片表面的机械损伤层厚度的测试方法、原理和实验结果。
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2000年6期
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