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利用溶胶凝胶法在石英衬底上采用旋涂法制备出ZnO薄膜，通过X射线衍射仪发现不同的退火温度对ZnO薄膜的择优取向有很大影响；通过紫外可见分光光度计和室温发光谱可以看出，制备的薄膜有很好的光学透过性和很强的紫外发光特性，而不同的退火温度对其光学性质有很大的影响。实验发现采用此种方法在650℃左右退火是一个合适的退火温度，结构特性和光学性质都相对较好；采用热分析方法可知ZnO将在375℃左右从非晶转向结晶状态，因而在常规ZnO薄膜制备方法中增加一步500℃的热处理将有助于提高ZnO薄膜的结晶质量。