【摘 要】
：
采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以N2和SiH4作为反应气体,在P型硅基片上进行SiNx薄膜的沉积.使用椭偏仪对薄膜厚度和光学常量进行了测量,用傅里叶变换红外光谱仪对SiN
论文部分内容阅读
采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以N2和SiH4作为反应气体,在P型硅基片上进行SiNx薄膜的沉积.使用椭偏仪对薄膜厚度和光学常量进行了测量,用傅里叶变换红外光谱仪对SiNx薄膜的化学键合结构进行了分析.研究了基片温度、射频功率以及N2和SiH4的气体流量比率等实验工艺参量对薄膜沉积速率和光学常量的影响.结果表明,射频等离子体增强化学气相沉积技术沉积的SiNx薄膜是低含氢量的SiNx薄膜,折射率在1.65～2.15之间,消光系数k在0.2～0.007之间,当SiNx薄膜为富氮时k≤0.01,最高沉积
其他文献
雷声在五月聚合,紫电在五月闪光! 五月,九十年代的第六个五月,携着《“九五”计划和2010年远景目标纲要》的春雷,带着柳叶滴翠、桃花泛血,引来欢唱的喜鹊、飞舞的燕雀,向人们
印度的电影产量在世界上居遥遥领先地位,有“电影王国”之称。其电影制作业在孟买,因而孟买被誉为“印度的好莱坞”。1997年印度有957部电影问世并通过审查,而同年美国主要的
前不久举行的武汉市地税系统“征管能手”大赛中,汉阳地税分局选派的13名选手取得了2名省级、6名市级“税收征管能手”的好成绩,名列全市地税系统榜首。 汉阳地税分局领导十
分析了联合广义分数傅里叶变换相关器相关峰的特性，得到通过改变广义分数傅里叶变换的系统参量可以提高广义分数相关峰性能的结论．进行了数值模拟和光学实验，并根据两者的结果对
利用低温（200℃）生长的GaAs材料作为吸收层制备了GaAs基1．55μm谐振腔增强型（RCE）光电探测器，对其光电特性进行了分析、研究．无光照0偏压下探测器暗电流为8．0×10^12A；光电流谱峰
对Nd: YAG固体激光器倍频、三倍频激光输出在空气和水浴环境下刻蚀Si片进行了研究,分析了刻蚀速率和样品表面形貌,得出了在355 nm刻蚀波长下,水浴环境中,刻蚀速率最快,刻槽宽
武汉市青山地税分局国有工交税务所突出难点,下大力气,多管齐下狠抓个人所得税征管,截至11月,共征收入库个人所得税603万元,占分局征收总额的70％,创历史最好水平。 个人所得税
分析了光寻址空间光调制器对连续图像采样产生的噪音和假频，利用采样理论，提出设置光学去假频前置滤波器抑制噪音和假频的方法．理论分析得出去假频前置滤波器为矩形窗函数的基础
从激光晶体的热效应理论出发，把棒状激光晶体等效为梯度折射率棒．利用梯度折射率光学理论，由梯度折射率棒的光焦度公式，推导了更为精确的激光棒端面研磨半径公式．并把它与通常使用
早已有名家高手写专文介绍过夏雨田的感人事迹。他的风采、神韵、音调也早巳为人们所熟悉。但是,他与国家税收的一段情缘,为税收宣传所作的贡献,却还鲜为人知。而这个不应该