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为了获得更好的微压印工艺填充效果，利用有限元方法研究模压工艺的主要参数压印温度、压印力和压印时间对压印效果的影响，并对工艺参数进行优化；对压印过程中不同的模具结构的应力分布进行了研究。仿真结果表明，工艺参数优化为480℃，30N，1800s后，模具的填充率达到97．2％；对不同的模具结构，有相同的应力分布区域，在模具拐角处会有应力的高度集中，与模具接触区域的应力相对较高，模具腔体区应力最低。