论文部分内容阅读
微波等离子体化学气相沉积是制备金刚石膜的一个重要方法，能制备出表面光滑平整的大面积均匀金刚石膜，文章概述了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜的情况，介绍了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜装置的典型类型及其特点，在国内研制成功天线耦合石英钟罩式ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜装置，并在硅片上沉积出大面积均匀的优质金刚石膜。
微波等离子体化学气相沉积金刚石膜
【摘 要】
：
微波等离子体化学气相沉积是制备金刚石膜的一个重要方法，能制备出表面光滑平整的大面积均匀金刚石膜，文章概述了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜的情况，介绍了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜装置的典型类型及其特点
【机 构】
：
中国科学院等离子体物理研究所,中国科学技术大学无线电电子学系
【出 处】
：
物理
【发表日期】
：
1996年11期
其他文献
文中对结构振动控制进行了综述,包括主动控制、半主动控制、被动控制和混合控制.
以考试成绩为样本观察值,运用实用的拟合检验法进行统计,设计一种易于实现的量化处理过程,完成对考试成绩客观准确的分析,为教育质量监控和评价提供有效的保障.
地方高校培养工程应用型人才的最终目的是要为地方的经济建设和社会的发展服务。随着近几年国家不断地调整发展战略，国家需要大量的具备创新能力的综合型人才。因此，地方高校应
提出了一种使用普通元件,采用传统的电磁继电方式进行控制的1000W通用负载板的实现方案.这种负载板可用于不同电压等级的电源,可单电源工作、也可双电源工作,适合于实验室条
提出了一种求解非经典阻尼系统的响应的精确方法。对非经典阻尼系统而言,由于系统的阻尼矩阵不能被系统的无阻尼固有振型对角化,所以不能实现系统的解耦,无法使用振型叠加法,
散斑计量技术是在现代高科技成果如激光技术、视频技术、电子技术、信息与图像处理技术、计算机技术、佤息、精密测试技术等基础上发展起来的有效工程检测技术，它具有全场、无
从特种印刷的角度介绍了近几年才发展起来的新领域－模压全息。模压全息作为低成本、大批量重复复制全息图的一种工业化手段，已在安全印刷、产品促销、包装装璜等领域得到了广泛
通过芳基烯胺酮与5-氨基-1H-吡唑的关环反应合成了一系列7-芳基吡唑并[1,5-a]嘧啶衍生物。首先芳酮（8）与N,N-二甲基甲酰胺二甲基缩醛缩合得到芳基烯胺酮（9）,不经纯化,直接在乙酸
摘 要：很多学生对于初中的思想品德课是这样评价的：枯燥乏味，没有吸引力。因此，很多学生出现了对思想品德课的学习没有信心，成绩差的现象。在新课程改革的背景下，教师应该更新观念，明确任务，积极投身于课程改革之中。通过导入、教学设计等环节使思想品德课变得有魅力，激发学生参与课堂的兴趣，使学生体验思想品德课学习的乐趣。 关键词：魅力课堂；导入；教学设计；个性 七年级是学生从儿童向少年转变的过渡时期，
固体＾３Ｈｅ在１ｍＫ附近发生核磁有序，本文介绍了它的磁相图，物理性质和理论模型。固体＾４Ｈｅ中有可能存在像液体＾４Ｈｅ和液体＾３Ｈｅ中出现的超流动态，对理论预言和实验上的探索进行了评述。