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概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开享应用进展。详细介绍了磁控溅射、溶胶—凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状，并且在对AZO膜与ITO膜性能比较的基础上，指出AZO薄膜的产业化前景好。
AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展
【摘 要】
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概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开享应用进展。详细介绍了磁控溅射、溶胶—凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状，并且
【机 构】
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华中科技大学电气与电子工程学院
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2007年1期
【基金项目】
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华中科技大学校基金(No.2006M044B)资助;教育部留学归国人员科研启动基金资助(2006)
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