薄膜应变式传感器及其优点

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薄膜电阻应变式传感器是近年来出现的一种结构新颖的传感器。它是用真空蒸镀或溅射的方法,将应变电阻材料直接在弹性体表面的绝缘基底材料上制成特定形式的薄膜式敏感栅。通常采用的粘贴方法,将箔式电阻应变片粘贴在弹性体上,其厚度约为50μm。 Thin film resistance strain sensor is a novel structure of the sensor in recent years. It is by vacuum evaporation or sputtering method, the strain resistance material directly on the surface of the elastomer substrate made of a specific form of film sensitive grid. The commonly used method of attachment, the foil resistance strain gages affixed to the elastomer, the thickness of about 50μm.
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