【摘 要】
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研究了烘烤时间、烘烤温度、曝光时间对图文转移中光刻胶留膜厚度的影响。实验结果表明:留膜厚度随烘烤时间增加而先增加后降低;留膜厚度随烘烤温度、曝光时间的增加呈先增加
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七一八研究所,
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研究了烘烤时间、烘烤温度、曝光时间对图文转移中光刻胶留膜厚度的影响。实验结果表明:留膜厚度随烘烤时间增加而先增加后降低;留膜厚度随烘烤温度、曝光时间的增加呈先增加后平缓的趋势。通过实验得到最佳工艺条件为:烘烤时间35min,烘烤温度90℃,曝光时间6 s。
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