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为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率，使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析，本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台，及调整EBSD探头位置及角度，收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研究了减薄块体样品厚度对透射电子菊池衍射花样的影响，对减薄氧化锆涂层样品进行了t-EBSD面分布分析，其结果的平均角度偏差（MAD）值仅为0．38，成功鉴定出小于30nm尺度的纳米氧化锆涂层立方相；将超声分散后的纳米TiO2粉体滴在铜网上，采用t-EBSD对纳米颗粒进行点分析，成功鉴定了