【摘 要】
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在 Si,Ge,KC1,Au,Cu 衬底上制备了非晶碳氢膜(a—C:H)。由红外透射谱分析得到膜中 SP~3键占主导地位。对 Si、KC1、Au、Cu 衬底上非晶碳膜的激光破坏作了研究,指出非晶碳膜的
【机 构】
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西北大学,西北大学,西北大学,西北大学,
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在 Si,Ge,KC1,Au,Cu 衬底上制备了非晶碳氢膜(a—C:H)。由红外透射谱分析得到膜中 SP~3键占主导地位。对 Si、KC1、Au、Cu 衬底上非晶碳膜的激光破坏作了研究,指出非晶碳膜的激光破坏机制与非晶硅、非晶锗相比远为复杂。
Amorphous hydrocarbon films (a-C: H) were prepared on Si, Ge, KC1, Au, Cu substrates. From the infrared transmission spectrum analysis SP 3 key in the film dominated. The laser destruction of amorphous carbon films on Si, KC1, Au and Cu substrates has been studied. The laser damage mechanism of amorphous carbon films is far more complicated than amorphous silicon and amorphous germanium.
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