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用钇稳定氧化锆球为研磨介质,在研磨桶内壁和搅拌器都衬以聚氨酯的搅拌磨设备中粉磨制备高纯超细硅微粉。研究了硅微粉特征参数D50随搅拌粉磨时间的变化规律,考察了钇稳定氧化锆球对硅微粉的污染程度,分析和探讨了1μm以下超细硅微粉的化学成分和形貌特征。实验证明,搅拌磨细磨石英砂可获得1μm以下的高纯超细硅微粉,但难以获得球形硅微粉。