【摘 要】
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研究了传输栅掺杂，即N+TG和P+TG，对满阱容量以及暗电流的影响。沟道电势分布受传输栅与衬底功函数差的影响，随着钳位光电二极管和浮动扩散节点之间的势垒高度的增加，feedforward效应被抑制，满阱容量增加。另一方面，处于电荷积累状态的沟道可以降低暗电流。基于四管有源像素工作过程进行仿真，结果表明，在曝光期间不加负栅压的情况下，基于P+TG的像素的满阱容量相对N+TG的提高了26.5%，其暗电
【机 构】
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天津大学微电子学院天津市成像与感知微电子技术重点实验室
【基金项目】
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National Key Research and Development Program of China（No. 2019YFB2204302）；
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研究了传输栅掺杂，即N+TG和P+TG，对满阱容量以及暗电流的影响。沟道电势分布受传输栅与衬底功函数差的影响，随着钳位光电二极管和浮动扩散节点之间的势垒高度的增加，feedforward效应被抑制，满阱容量增加。另一方面，处于电荷积累状态的沟道可以降低暗电流。基于四管有源像素工作过程进行仿真，结果表明，在曝光期间不加负栅压的情况下，基于P+TG的像素的满阱容量相对N+TG的提高了26.5%，其暗电流为N+TG的0.377倍。当电荷转移效率大于99.999%时，N+TG的开启电压需高于2.3 V，而P+TG的开启电压需高于3.0 V。
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