论文部分内容阅读
本文报道了一种改进本征吸杂技术 －低温短时热退火工艺，以增强本征吸杂效果。
Ramping热退火直拉重掺锑硅衬底片的增强氧沉淀
【摘 要】
：
本文报道了一种改进本征吸杂技术 －低温短时热退火工艺，以增强本征吸杂效果。
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1999年6期
其他文献
矿产是重要的自然资源,是大自然赐予人类不可再生的宝贵资源,对我国经济的发展有着重要的作用.目前,我国对于矿产资源十分重视,因此,在矿产资源的开采中要不断加强勘查和冶炼
城中村是城市化发展中出现的一种普遍情况,受其自身的性质影响,在早期的建设过程中,由于其自身的规划不具备长远性,导致城中村的群落处于无序与失控状态.结合自身工作经验,对
由于油田钻井井场生产过程中,涉及到石油的开采和输送处理,其危险程度相当高.为了提高油田生产的安全性,降低安全事故的发生率,采取必要的安全管理措施,保证油田井场生产各个
本文通过对车辆保障专业教学基地内涵的分析, 突出了车辆专业教学基地建设的必要性, 进而对教学基地的任务设计、 硬件建设、 人才建设、 组训方式和考评体系进行了系统研究,
随着国家加强道路交通基础建设实施意见的出台,我国道路建设工程里数每年都以惊人的速度增长,道路建设用水泥混凝土需求市场巨大,由于公路基层施工要求水泥混凝土的凝结时间
“培养创造的人材”，“开展创造性的活动”。要给“创造未来”的孩子从小插上想象力的翅膀是语文教学的一项具有重大意义的任务。扩想能培养学生的想象能力，续想能激发起学生的
在我国各种能源愈发紧缺的时代背景下,建筑行业想要取得长足发展,在建筑设计中应用节能设计已经成为必然趋势,通过合理控制能源耗费,助力推动我国社会经济实现可持续发展.基
采用X射线三轴晶衍射法，根据As间隙原子对作为过量As在GaAs单晶材料中存在的主要形式的模型，可以无损、高精度测量半绝缘GaAs单晶的化学配比。并探讨了引起晶格变化的原因及其
伴随信息技术的迅速发展，人们的学习工作生活方式发生了重大的变化。近年来，在小学语文教学中，逐步运用多媒体技术，将信息技术与语文课堂教学有效结合，提升了小学语文课堂教学的质
在建筑工程施工中钢筋混凝土结构施工受到广泛关注与重视,其中的原材料主要为水泥,为了可以更好的进行施工,应合理使用水泥粉磨方式开展工作,在水泥助磨剂的应用之下,完善水