【摘 要】
：
针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
【基金项目】
：
国家重大科技专项基金资助项目（No.2009ZX02205）
论文部分内容阅读
针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理。然后,用柔性铰链代替传统铰链完成了该机构的结构设计,并对该机构的运动方向刚度、位移输入-输出比以及固有频率和阵型等进行了仿真分析。分析结果表明：该机构X,Y方向的刚度值为1.99μm/N和1.96μm/N,X,Y方向的位移输入-输出比值分别为-2.5和-2.56,机构X,Y方向运动的原理误差分
其他文献
国际俄罗斯语言文学教师协会于1990年8月10日至17日在莫斯科召开第七次世界俄语教师大会。参加这次大会的代表来自87个国家和地区,共2837人。在为期7天的会上,共宣读科研报告
<正> 我们(北京师大)是从1983年开始招收俄苏文学研究生的,迄今已经培养了三届硕士研究生。他们经过学习,无沦在政治思想上还是在专业知识和研究能力上都有较大的提高,撰写一
实际光学成像系统必须考虑衍射效应对系统成像质量的影响.根据衍射受限系统成像的瑞利观点,运用相干传递函数对最简单的衍射受限系统的成像质量进行了理论模拟和实验研究.模
在第五、六两讲中,我们在谈到翻译过程中的词语和句式转换时,词义(甚至它们的语体特点、修辞色彩)主要都是在孤立的句子中尽量加以确切译出的。这从任何意义上说,实际上都有
局部式空调是仅对工作岗位人员所在空间的空气进行处理的空调系统,在局部式空调中使用可移动式送风口,可以根据需要来改变送风位置.以可移动式送风口的设计为研究对象,分析了
<正> 我们的做法 为了探索低年级文学阅读的可能性与方法,我们(北大)在八五级一班作了一些尝试。在一年级上学期安排了一些零散的课外阅读的基础上,我们在一年级下学期组织了
各种自然灾害发生时,对生命的搜救是重中之重.设计了一种基于声源和红外光线的人员搜救系统.在该系统中采用四个麦克风构成平面阵列,实时监测周围环境的声音信号,当侦测到声
<正> 我们党历来主张“一切从实际出发”。赵紫阳同志在一次讲话中特别指出。“三中全会以来的路线已经成为全国人民最亲切的政治概念,中共中央认为,三中全会以来的路线,就是
<正> 大学一年级是最重要的基础阶段。本文想结合教学实践,就大学俄语专业一年级学生与学习有关的主要特点和教学中应该注意的问题谈些看法和体会。 一、大学俄语专业一年级
<正> 在中国俄语教学研究会第二次学术讨论会上,有同志提出一个主张。我国俄语专业的教学应从以语言为中心转移到以言语为中心。这个主张当时就引起与会者的极大兴趣。会后决