【摘 要】
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为探索CO2气体在低温等离子体中的分解规律,开展了近室温条件下,射频等离子体中CO2及CO2-H2混合气体的电离分解行为研究.反应产物通过差分四极质谱进行在线分析,并通过发射光
【机 构】
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表面物理与化学重点实验室,四川绵阳,621900中国工程物理研究院材料研究所可持续界面动力学研究中心,成都,610200;中国工程物理研究院材料研究所,四川绵阳,621900;
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为探索CO2气体在低温等离子体中的分解规律,开展了近室温条件下,射频等离子体中CO2及CO2-H2混合气体的电离分解行为研究.反应产物通过差分四极质谱进行在线分析,并通过发射光谱对等离子体状态进行诊断.研究结果表明,在射频电场作用下二氧化碳气体迅速电离并部分分解为一氧化碳和氧气,随着射频功率升高CO2分解率提高,而能量效率降低.氢气的加入可以显著降低CO2分解达到平衡所需的时间,随着H2含量的增加,二氧化碳的分解率先降低后升高,H2的电离状态与对CO2分解氧的消耗是导致CO2分解率V字形变化的主要原因.
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