射频放电等离子体相关论文
在合成薄膜及刻蚀、等离子体材料表面改性等工艺中，材料表面形成的等离子体鞘层的物理特性以及悬浮在鞘层中的尘埃颗粒的分布规律直......
为探索CO2气体在低温等离子体中的分解规律,开展了近室温条件下,射频等离子体中CO2及CO2-H2混合气体的电离分解行为研究.反应产物......
三氯甲烷(CHCl3)属于常见的卤代有机污染物,广泛应用于工业生产生活中,也可由氯法消毒产生,长期接触对人体健康有严重危害。腐殖酸......
在低压室温下，研究了在射频放电等离子体作用下CO2-H2体系的转化。分别考察了H2/CO2摩尔比、激发电压、原料气总流量对CO2转化的影......
