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本文通过介绍微电子器件制造的主要流程,概括了主要的微电子制造工艺技术以及这些技术的特点。在分析以往发展规律的基础上,结合当今微电子技术的现状,阐述了未来微电子发展的三个主要表现形式。
微电子制造技术及其发展
【摘 要】
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本文通过介绍微电子器件制造的主要流程,概括了主要的微电子制造工艺技术以及这些技术的特点。在分析以往发展规律的基础上,结合当今微电子技术的现状,阐述了未来微电子发展
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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国防制造技术
【发表日期】
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2009年05期
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