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为提高半导体制造系统的整体性能,提出了一种考虑多因素的悬挂式小车(overhead hoist transporter,OHT)调度方法.从工作站、晶圆批、搬运系统三方面分析了搬运距离、晶圆批优先级、工作站特性、OHT利用率、等待时间5个关键因素.以成本最小作为调度目标,基于这5个因素构造了混合多因素调度模型,同时引用二分图匹配方法构建了调度模型的求解算法.最后进行了仿真实验设计和分析,结果表明该方法是有效、可行的.