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MOCVD生长Ⅲ族氮化物镓源的选择
MOCVD生长Ⅲ族氮化物镓源的选择
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuzubiao
【摘 要】
:
MOCVD是生长Ⅲ族氮化物材料最成功的技术之一.镓源的选择是该技术中重要的一环.详细比较了三甲基镓和三乙基镓两种主要的镓源对生长样品在微结构、表面形态、电学性质和光学
【作 者】
:
顾星
叶志镇
赵炳辉
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
MOCVD
镓源
Ⅲ族氮化物
GAN
TMGa
TEGa
MOCVD Ga source group Ⅲ nitride GaN TMGa TEGa
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MOCVD是生长Ⅲ族氮化物材料最成功的技术之一.镓源的选择是该技术中重要的一环.详细比较了三甲基镓和三乙基镓两种主要的镓源对生长样品在微结构、表面形态、电学性质和光学性质方面的不同影响,并对造成不同影响的因素提出了自己的见解.
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