改良西门子法多晶硅还原炉倒棒研究

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在利用改良西门子法进行多晶硅生产的过程中,还原炉为主要设备,一旦内部出现倒棒问题就会给设备运行和产品生产带来严重影响.基于这种认识,本文对改良西门子法多晶硅还原炉倒棒问题及原因展开了研究,并提出了问题的解决对策.
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