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用气体中蒸发的方法在蓝宝石基片上制备了纳米InSb颗粒膜.通过透射电镜分析显示,该方法可以制得多晶的InSb纳米颗粒,且颗粒均匀地分布在蓝宝石基片表面上;用X射线能谱仪分析样品得到两种元素的百分比接近1:1.实验结果表明,通过改变设备的工作条件,可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米颗粒.