【摘 要】
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本文介绍了压电石英晶体谐振器测量沉积膜厚度及速率的工作原理。根据石英晶体和沉积膜的切变模型弹性声阻抗理论,严格推导出了沉积一种材料膜时组合系统的谐振频率变化与沉
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本文介绍了压电石英晶体谐振器测量沉积膜厚度及速率的工作原理。根据石英晶体和沉积膜的切变模型弹性声阻抗理论,严格推导出了沉积一种材料膜时组合系统的谐振频率变化与沉积层材料声阻抗之间的最正确的理论关系式,并且进而导出了沉积多种材料膜系时的非常有用的正确关系式。这些关系式为认识和使用石英谐振器粘确监测沉积膜提供了科学依据。
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