【摘 要】
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综述了化学气相沉积(CVD)技术的最新发展,包括金属有机化合物化学气相沉积、等离子辅助化学气相沉积、激光化学气相沉积;同时介绍了三种用于制备工程材料的快速致密化化学气相渗透(CVI)技
【机 构】
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中国航天工业总公司四院四十三所,西安交通大学
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综述了化学气相沉积(CVD)技术的最新发展,包括金属有机化合物化学气相沉积、等离子辅助化学气相沉积、激光化学气相沉积;同时介绍了三种用于制备工程材料的快速致密化化学气相渗透(CVI)技术,包括强迫流动热梯度化学气相渗透、化学液相沉积、感应加热热梯度快速致密化技术。
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