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期刊论文
EEPROM失效机理初探
EEPROM失效机理初探
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cl0916789
【摘 要】
:
在分析了双层多晶硅FLOTOXEEPROM各种失效模式后,从理论上提出了提高EEPROM可靠性的各种措施,提高隧道氧化层和多晶硅之间氧化层的质量,减小擦/写电压和擦/写时间,减小隧道氧化层的面积,都是提高EEPROM可靠性
【作 者】
:
于宗光
魏同立
【机 构】
:
东南大学,东南大学微电子中心
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
电可擦除
可编程
只读取存储器
可靠性
失效
EEPROM Reliability Failure Analysis
【基金项目】
:
江苏省青年科技资金!BQ96040
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在分析了双层多晶硅FLOTOXEEPROM各种失效模式后,从理论上提出了提高EEPROM可靠性的各种措施,提高隧道氧化层和多晶硅之间氧化层的质量,减小擦/写电压和擦/写时间,减小隧道氧化层的面积,都是提高EEPROM可靠性的有效措施。
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