有机聚合物光波导的端面处理研究

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ebear2009
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主要研究如何在不损伤聚合物的前提下,实现聚合物波导的端面处理,即对端面的研磨和抛光。由于硅材料和聚合物材料的物理特性差别,除了要选择好特定的抛光材料以外,在抛光时还要特别控制抛光速度和抛光时间:速度过快会造成硅片“塌边”和损坏聚合物膜。试验结果表明:抛光速度在80r/min以上很容易造成损伤;速度在20r/min左右的抛光效果较理想。抛光时间不够则不能达到抛光要求。
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