【摘 要】
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本文简单介绍了从离子源中引出束流的机制及最小角散度的离子光学条件;阐述在研制15cm双潘宁离子源(引出电压25kV、电流20A)时,所解决的二个问题,即:使得引出系统保持最佳真
【机 构】
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本文简单介绍了从离子源中引出束流的机制及最小角散度的离子光学条件;阐述在研制15cm双潘宁离子源(引出电压25kV、电流20A)时,所解决的二个问题,即:使得引出系统保持最佳真空度的脉冲进气方式;提出了用复合材料制造绝缘环,从而提高了电绝缘强度。这二者都对离子光学作出良好的贡献。
In this paper, the mechanism of ion beam extraction from the ion source and the ion optics condition of the minimum angular divergence are briefly introduced. Two problems solved in the development of a 15 cm dual Penningon ion source (extraction voltage of 25 kV and current of 20 A) are described : A pulsed air intake that leads the system to maintain optimum vacuum; and proposes the use of a composite material to make an insulating ring, thereby increasing the electrical insulation strength. Both of these make a good contribution to ion optics.
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