【摘 要】
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3.尺寸缺陷检查尺寸检查也就是掩模管芯图形特征尺寸的测量,这类测量有两种:线宽测量和偏转测量。其中每种的测量精度都和线条边界或特征边沿的定位精度有关,为了作为位置的
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3.尺寸缺陷检查尺寸检查也就是掩模管芯图形特征尺寸的测量,这类测量有两种:线宽测量和偏转测量。其中每种的测量精度都和线条边界或特征边沿的定位精度有关,为了作为位置的函数来测量小面积的透明度,并能很好地适用于尺寸测量,设计了一种微
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