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综述了低介电常数(low-k)材料研究的基本情况,以及可用于微电子领域的低介电常数聚合物材料,包括材料的化学结构和基本物理性质。并着重介绍了带有纳米孔的超低介电常数材料的研究进展。同时,对低介电常数材料的制备工艺也进行了简要的总结。
低介电常数聚合物材料的研究进展
【摘 要】
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综述了低介电常数(low-k)材料研究的基本情况,以及可用于微电子领域的低介电常数聚合物材料,包括材料的化学结构和基本物理性质。并着重介绍了带有纳米孔的超低介电常数材料
【机 构】
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南京大学高分子科学与工程系
【出 处】
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高分子材料科学与工程
【发表日期】
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2004年04期
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