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为了实现亚纳米级超光滑表面的加工,建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统,同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相互作用机理。首先,对实验所用锐钛矿TiO2纳米颗粒及单晶硅工件表面进行表征测量。然后,用第一性原理的平面波赝势计算方法研究了纳米颗粒胶体射流加工中TiO2分子团簇在单晶硅表面化学吸附的表面构型结构及其体系能量。最后,开展了TiO2纳米颗粒及单晶硅工件表面间的吸附实验。实验结果表明：胶体中的OH基团在TiO2团簇表面及单晶硅表面分别发生化学吸附,在TiO2纳米颗粒及单晶硅表面吸附过程中形成