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研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果.
基于准LIGA工艺的微型传动齿轮制作
【摘 要】
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研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果.
【机 构】
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北京工业大学机械工程与应用电子学院
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2005年z2期
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