准LIGA相关论文
提出采用掩模法的质子LIGA方法,即利用厚胶光刻产生掩模,然后进行质子束深度刻蚀、显影获得微结构。根据TRIM96程序进行模拟计算,......
研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层，采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层，利用二氟化氙（XeF2）干法腐蚀对材料......
准LIGA加工工艺通常、能加工单层准三维体.本研究采用SU-8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三......
研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果.......
阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁/解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程.设计过程中采用有限元软件Ansys......
为了制作局部为三维结构的金属模具微型腔，实验研究了一种组合加工新工艺，即先用紫外线光刻和电铸成形（准LIGA）技术在模具基底上制作二......
提升基于准LIGA工艺制作的微细电火花加工工具电极材料的耐电蚀能力,是准LIGA-Micro EDM组合加工高深宽比三维微结构可靠实现的重......
干膜光阻的光刻工艺因简单廉价,正在逐渐替代传统的光刻工艺.本文针对干膜光刻的贴膜、曝光和显影等工艺参数进行优化,并将其应用......
介绍了国外近年来高深宽比微细结构制造技术的最新发展,其中包括LIGA、准LIGA、深层反应离子刻蚀等主要高深宽比微细结构技术的具......
LIGA 技术是近年来才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种较理想新方法。其主要工艺有X 射线光刻,电铸成型和塑料铸模等。由于......
