多层光刻胶工艺相关论文
ＬＩＧＡ技术在微机结构的制作 中具有很重要的作有针对ＬＩＧＡ技术所存在的缺点，提出了一种利用多层光刻胶工艺的准ＬＩＧＡ技术。利用此技术，可以用普通光......
研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果.......
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