液相沉积法制备(004)取向的TiO_2薄膜

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:laoyang2009123456
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采用液相沉积法(LPD)制备二氧化钛薄膜,探索p H值对二氧化钛薄膜样品成份、结构和性能的影响,利用XRD、FESEM、UV等方法对薄膜的结构、形貌以及光学特性进行表征。结果表明LPD制备的二氧化钛薄膜为锐钛矿相,可见光透过率高达80%,具有明显的(004)取向;薄膜的结构和光学特性依赖沉积液p H值,p H=2.03时所制备的薄膜取向性最佳,柱状晶粒排列整齐。
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