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半导体硅片生产形势的分析
半导体硅片生产形势的分析
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xpbear
【摘 要】
:
<正> 半导体器件支撑着庞大的信息产业,而半导体器件93%以上是硅器件,它们以硅片为基础材料。本文将叙述半导体器件和硅片在世界与国内的生产状况和需求量,并对我国硅材料企
【作 者】
:
梁骏吾
郑敏政
袁桐
闻瑞梅
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所中科院,中国信息产业部,同济大学
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2003年01期
【关键词】
:
半导体器件
主流产品
硅抛光片
外延片
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<正> 半导体器件支撑着庞大的信息产业,而半导体器件93%以上是硅器件,它们以硅片为基础材料。本文将叙述半导体器件和硅片在世界与国内的生产状况和需求量,并对我国硅材料企业满足市场能力进行分析。2001年世界半导体器件生产低落,
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