【摘 要】
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夏普开发线宽０．２４～０．７０μｍ准分子曝光技术日本夏普公司已研制成能形成线宽０．２４～０．７０μｍ的许多电路图形的准分子曝光技术。采用缩小曝光光照明的特殊滤光器，已实现控制光的透射率和相位。准分子激光
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夏普开发线宽０．２４～０．７０μｍ准分子曝光技术日本夏普公司已研制成能形成线宽０．２４～０．７０μｍ的许多电路图形的准分子曝光技术。采用缩小曝光光照明的特殊滤光器，已实现控制光的透射率和相位。准分子激光器可望作为新一代的曝光光源，该公司已考虑把这种新...
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