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  5. Cu对用于高速相变存储器的Sb2Te薄膜的结构及相变的影响研究

Cu对用于高速相变存储器的Sb2Te薄膜的结构及相变的影响研究

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wusuowei282736
【摘 要】
：
采用原位X射线衍射仪、拉曼光谱仪和X射线反射仪分别研究了Cu-Sb2Te薄膜的微结构、成键结构和结晶前后的密度变化.Sb2Te薄膜的结晶温度随着Cu含量的增加而增大.在10 at.%和14
【作 者】
：
王东明 吕业刚 宋三年 王苗 沈祥 王国祥 戴世勋 宋志棠 
【机 构】
：
宁波大学信息科学与工程学院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,宁波大学高等技术研究院
【出 处】
：
物理学报
【发表日期】
：
2015年15期
【关键词】
：
相变存储器 相变存储材料 结构 PCRAM  phase change material  structure 
【基金项目】
：
国家自然科学基金（批准号：61306147,61377061）, 宁波市自然科学基金（批准号：2014A610121）, 宁波大学王宽城幸福基金资助的课题
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采用原位X射线衍射仪、拉曼光谱仪和X射线反射仪分别研究了Cu-Sb2Te薄膜的微结构、成键结构和结晶前后的密度变化.Sb2Te薄膜的结晶温度随着Cu含量的增加而增大.在10 at.%和14 at.%Cu的Sb2Te薄膜中,Cu与Te成键,结晶相由六方相的Cu7Te4、菱形相的Sb及六方相的Sb2Te构成.10 at.%和14 at.%Cu的Sb2Te薄膜在结晶前后的厚度变化分别约为3.2%和4.0%,均小于传统的Ge2Sb2Te5（GST）薄膜.制备了基于Cu-Sb2Te薄膜的相变存储单元,并测试了其器件
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