使用电镀辅助板的电镀装置

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<正>本专利提供的电镀装置包括电镀液、至少一个置于电镀液中的阳极篮和镀件。电镀辅助板设置于阳极篮和镀件之间。电镀辅助板至少有一边比镀件长。电镀辅助板用一种不导电的塑料制成,其中有多个孔。在电镀操作中,这些孔会产生一种隧道效应,使电镀液中的阳离子(如铜离子)从阳极篮(即阳极)直接流至镀件表面最近的部分。
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