硫钝化表面改善GaAs MESFET电特性

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本文介绍了一种适用于GaAs MESFET表面钝化的新方法。通过对器件进行硫钝化处理,我们发现钝化能使器件的击穿电压提高和表面漏电减少。我们认为造成这种现象的原因,是由于硫钝化减少了栅漏附近的GaAs表面态密度。
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