【摘 要】
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研制了双栅GaAs MESFET的计算机辅助测试系统,可广泛应用于一般四端(或小于四端)器件.该系统包括硬件部分——四端器件直流特性的计算机读入设备FMR,和通用软件部分——FMR-B
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
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研制了双栅GaAs MESFET的计算机辅助测试系统,可广泛应用于一般四端(或小于四端)器件.该系统包括硬件部分——四端器件直流特性的计算机读入设备FMR,和通用软件部分——FMR-BASIC.同时研制了工艺参数最优化分析程序——DGF TPOA,从而能够自动测报常规直流特性,并由所测结果按最优化技术(单纯形调优法)分析给出工艺参数n、a、L_1、L_2.
A dual-gate GaAs MESFET computer-aided test system is developed, which can be widely used in general four-terminal (or less than four-terminal) devices. The system includes a hardware readout FMR, --FMR-BASIC. At the same time developed a process optimization analysis program - DGFTPOA, which can automatically report the conventional DC characteristics, and the measured results by optimization techniques (simplex tuning method) to give the process parameters n , A, L_1, L_2.
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