【摘 要】
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使用自动变温霍耳测试系统测定了减压ＭＯＶＰＥ外延生长的硅δ掺杂ＧａＡｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓ异质结构，其在１５Ｋ和３００Ｋ时的电子迁移率分别为２．６×１０５ｃｍ２／Ｖ·ｓ和７３００ｃｍ２／Ｖ·ｓ，二维电子浓度分别为４．６５×１０１１／ｃｍ２和１．１７×１０１２／ｃｍ２，均比相同结构的生长体掺杂ＧａＡｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓ异质结构样品有很大
【机 构】
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浙江大学材料系,澳大利亚国立大学电子材料工程系
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使用自动变温霍耳测试系统测定了减压ＭＯＶＰＥ外延生长的硅δ掺杂ＧａＡｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓ异质结构，其在１５Ｋ和３００Ｋ时的电子迁移率分别为２．６×１０５ｃｍ２／Ｖ·ｓ和７３００ｃｍ２／Ｖ·ｓ，二维电子浓度分别为４．６５×１０１１／ｃｍ２和１．１７×１０１２／ｃｍ２，均比相同结构的生长体掺杂ＧａＡｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓ异质结构样品有很大提高，证实了使用δ掺杂技术取代体掺杂技术可以获得电学性能更佳的ＧａＡｓ／ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ异质结构．
The hexagonal δ-doped GaAs / Al0.3Ga0.7As heterostructures grown under reduced pressure by MOVPE epitaxial growth were measured by a Hall sensor system with an electron mobility of 2.6 × 105cm2 / V at 15K and 300K, respectively s and 7300cm2 / V · s respectively. The two-dimensional electron concentrations were 4.65 × 1011 / cm2 and 1.17 × 1012 / cm2, respectively, which were higher than that of the as-grown GaAs / Al0.3Ga0.7As heterostructure samples Has been greatly improved, confirmed that the use of δ doping technology instead of bulk doping technology can obtain better electrical properties of GaAs / AlxGa1-xAs heterostructure.
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