【摘 要】
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化学染色法是一种常见的PN结形貌分析方法。目前常规的化学染色技术有磨角法、滚槽法、电解水氧化法和剖面染色法。提出了一种新型的剖面化学染色技术,在传统的剖面染色法基
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化学染色法是一种常见的PN结形貌分析方法。目前常规的化学染色技术有磨角法、滚槽法、电解水氧化法和剖面染色法。提出了一种新型的剖面化学染色技术,在传统的剖面染色法基础上新增了表面剥层、染色及观察步骤,可突破常规化学染色技术的局限,实现对PN结分布的观测及PN结缺陷的定位分析。进一步研究发现在新型剖面染色法的染色步骤使用超结染色液,可显著提升化学染色的效果和成功率。应用该化学染色技术,大大降低了半导体产品反向工程及失效分析的时间和成本,为PN结分析提供了方向。
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