【摘 要】
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本文发展了一种用于生长Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub>/Si应变层超晶格的“快速辐射加热超低压化学气相淀积”方法,以 SiH<sub>4</sub>,GeH<sub>4</sub>作为反应源,成功地
【基金项目】
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国家高技术863计划,国家攀登计划半导体超晶格项目,国家自然科学基金信息学科项目,江苏省科委基金项目的资助
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本文发展了一种用于生长Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub>/Si应变层超晶格的“快速辐射加热超低压化学气相淀积”方法,以 SiH<sub>4</sub>,GeH<sub>4</sub>作为反应源,成功地生长出优质的Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub>/Si应变层异质结构,量子阱和超晶格。文中讨论了快速辐射加热超低压C
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